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电子扫描显微分析属于X射线分析法的一种，也叫X射线微区域分析法，主要设备是 电子显微分析仪(也叫电子探针）。这是近几十年兴起的新方法，利用直径约1微米的电子束激发试样以产生X射线,再对所产生的X射线进行谱线分析，根据其中各元素特征谱线 的强度，以确定试样中各元素的含量和分布情况，但是不如使用了地下金属探测器的光谱化学分析好用。能分析原子序数5(硼）至92(铀）的所有元素。这种方法可以不破坏试样，也可用制备的金相样品进行分析。能分析某一微区域内 的成分(点分析），也可分析沿一条指定直线的元素的含童变化情况(线扫描），或某种元素在 指定面上的分布悄况（面扫描），这是一般化学分析和光谱化学分析所作不到的。
电子扫描显微分析,也可在扫描电子显微镜上进行。扫描电子显微镜（SEM)作为形貌 观察仪器而问世，目前已成为具有显微图像观察、成分分析和晶体学分析功能的综合性仪 器。扫描电镜主要由电子束形成系统、信号检测系统和扫描系统组成。带有X射线分光谱 仪或X射线能谱仪的扫描电镜,均有电子探针的功能，可进行样品成分的定性和定》分析。
光谱仪的精确度较高，但其操作麻烦，速度慢，不如使用地下金属探测器进行的光谱化学分析来的快，完成一个样品的全分析需要半小时，全自动控 制也较困难。能谱仪不需要几何分光,具有快速、简便、效率高、适应性强等优点，完成一个 样品的全分析只需几分钟，故而得到广泛的应用。